据置型 V-553-1
大型クリアドームチャンバー採用
- 両サイドシール方式
- お掃除しやすい庫内フラットタイプ
- 液体の噴き出し拡散防止
- 高性能な真空センサー制御
仕様
| チャンバー内寸法（幅×奥行×高さmm） | 696×664×180 |
|---|---|
| チャンバー容量（L） | 58 |
| シール有効寸法（mm） | 550×2（左右） |
| 真空ポンプ（L／min） | 1050（50Hz） |
| 電源（50／60Hz） | AC200V 3相 |
| コンセント形状 | 3P接地-30（A） |
| 定格消費電力（kW） | 4.5 |
| 電動機容量（kW） | 2.2 |
| 外形寸法（幅×奥行×高さ（チャンバーオープン時）mm） | 780×845×973（1404） |
| 製品質量（kg） | 231 |
